研磨液的應用：藍寶石晶片
發(fā)布時間：
2019-01-25
來源：
藍寶石(a一Al2O3)是一種集優(yōu)良光學性能、物理性能和化學性能于一體的多功能氧化物晶體。
而作為金屬有機化學氣相沉積法(MOCVD)生長GaN的藍寶石襯底片，要求表面是超光滑、無損傷表面。目前超光滑表面是指：表面粗糙度小于1nm(RMS)的表面。無損傷表面是指：加工表面不能有加工變質層，且表面晶格完整。
由于藍寶石硬度高(莫氏9.0)、脆性大，對其機械加工十分困難，無損傷超光滑表面制備技術更加復雜。研磨液在其加工過程中的應用十分廣泛，不同研磨液對藍寶石的研磨效果不盡相同，而且研磨液對藍寶石晶體研磨效率的提升和表面質量的改善具有一定良好反應。
利用自銳性好、研磨速度快、加工精度高的研磨液進行藍寶石晶片無損傷超光滑表面磨拋最合適不過了。
以本公司應用自主專利技術生產(chǎn)的立方碳化硅微粉（莫氏9.5~9.75）為原料制備生產(chǎn)的研磨液、拋光液，具有自銳性好、研磨速度快、加工精度高、表面質量好等優(yōu)點。適用于不銹鋼、銅、鋁、鑄鐵、藍寶石晶片、玻璃、陶瓷等材質的研磨拋光，效果可與金剛石媲美，價格不及金剛石的十分之一，具有很高的性價比。
注：立方SiC晶體的等軸結構特點，使其比α-SiC、B4C、BN、BIN、金剛石等材料有更好的自然球度，在精密研拋方面有更好的磨削和拋光效果。
公司生產(chǎn)的研磨液、拋光液
公司研磨液、拋光液的制備工藝分別獲批了國家專利局授權的兩項發(fā)明專利：“一種納米拋光液的制備方法”，專利號：ZL201610703064.7和“一種懸浮型水性研磨液的制備方法”，專利號：ZL201610648321.1。
嚴格的粒度控制，粒度分布指標優(yōu)于行業(yè)和國家標準。
經(jīng)提純工藝處理，雜質含量可降到十萬分之一的數(shù)量級。
可按照用戶的具體要求定制粒度和濃度等配置。該產(chǎn)品目前已實現(xiàn)批量化生產(chǎn)，獲得了用戶的一致認可。
部分內容摘自：《藍寶石晶片納米級超光滑表面加工技術》
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